PG15-J型激光平面干涉儀工作基于雙光束等厚干涉原理。根據近代光學的研究結果，光兼有波動與微粒兩重特性。光的干涉現象是光的波動性的特性。

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激光穩頻精度通過動態熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內，達到1年內精度為±0.05 ppm，1小時內精度為±0.02 ppm。

激光干涉儀是一款專門檢測機床的設備，可以檢測機床的21項誤差

雙頻激光干涉儀

微位移測量激光干涉儀，德國耶拿爾測量技術有限公司原裝進口。

激光平面干涉儀 上海宙山精密光學儀器有限公司

中圖SJ6000激光干涉儀

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利用XL-80提高企業效益 XL-80系統快速、，而且非常輕便，因此它成為銷量好的激光校準系統絲毫不足為奇。XL-80采用先進的軟件解決方案，具有優異的性能，可以幫助您顯著提高企業效益。

固定式床身、工作臺移動；主軸箱隨溜板上下移動；亦可沿橫梁左右移動實現三軸聯動；配置22kW主鏜銑頭。機床主銑頭具有銑削、鏜削、鉆削、锪孔、攻絲等功能

美國API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角