適用于要求快速升降溫的CVD工藝

集成循環(huán)伏安法、線性伏安法、開路電位法等常規(guī)電化學(xué)技術(shù)，并全新集成計時電流法、計時電量法、計時電位法、差分脈沖法、常規(guī)脈沖法、方波伏安法等暫態(tài)電化學(xué)方法與SPR聯(lián)用測量

具有一次性凈化效率高，能同時凈化多種污染物；防火性能采用開關(guān)、電源、電路三重自動保護；設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，工藝成熟；設(shè)備投資少，運行成本低；安全穩(wěn)定，維護方便，使用壽命長；凈化效率高，無二次污染。

電化學(xué)，等離子體拋光電源

占地小，性價比高，性能可靠

主要供大學(xué)和科研院所用于PECVD方法的科研和教學(xué)；