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半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品清洗用超純水設(shè)備安裝主要是分離溶液中的離子范圍，它無(wú)需加熱，更沒(méi)有相變過(guò)程，因此比傳統(tǒng)的方法能耗低。用反滲透裝置，處理工業(yè)用水，不耗用大量酸堿，無(wú)二次污染，它的運(yùn)行費(fèi)用也比較低。反滲透膜分離技術(shù)，簡(jiǎn)稱RO技術(shù)。

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采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水經(jīng)濟(jì)，環(huán)保的超純水制備工藝

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