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【半導體材料超純水系統】主要是分離溶液中的離子范圍，它無需加熱，更沒有相變過程，因此比傳統的方法能耗低。用反滲透裝置，處理工業用水，不耗用大量酸堿，無二次污染，它的運行費用也比較低。反滲透膜分離技術，簡稱RO技術。

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熱電阻溫度計是利用導體或半導體材料制成的感溫元件。它的電阻值與溫度成一定的函數關系，與顯示儀表套使用時，可測量-200～500 ℃的溫度，具有精度高，穩定性好的特點。

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采用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水經濟，環保的超純水制備工藝

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