本機(jī)主要用于壓電晶體、化合物半導(dǎo)體、硅單晶、磁性材料、光學(xué)玻璃及光電子材料等金屬、非金屬片狀硬脆材料的高精度雙面研磨,適用于2"(φ50mm)以下及同尺寸規(guī)格異型平行平面的四動雙面高精度研磨。
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