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脫氧管 規格為Ф30mm×270mm，形式分為不銹鋼型和有機玻璃型(變色透明)兩種，可以脫去載氣中殘留的氧氣、水分及烴類

大型的加熱塊設計可滿足多種特殊的要求。 特殊設計的升降試管架可方便地將整排試管移出或放入恒溫塊中。 帶有“上限”和“上偏差”雙重超溫保護。

微處理器的PID控制使得溫度控制精度大幅度提高，且上沖小。

無掩模光刻機系統關鍵技術：曝光光學系統、光勻化技術、圖形發生器、投影物鏡、對焦系統、對準系統、精密工件臺、步進拼接、控制軟件等