所谓等离子体是继固体、气体、液体三态后，列为物质的X四态，由正离子、负离子、电子和中性离子组成，因体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。
等离子体按粒子温度可分为平衡态（电子温度=离子温度）与非平衡态（电子温度>>离子温度）两类。
非平衡态等离子体电子温度可上万度，离子及中性离子可低至室温，即体系表观温度仍很低，故称“低温等离子体”，一般由气体放电产生。
低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离子体处理废气的原理为：
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。
低温等离子技术，属于干法处理，不需要任何吸附剂、催化剂及其他任何助燃燃料，只需采用220V或380v交流电，经振荡升压装置获得高频脉冲电场，产生高能量电子，轰击分解废气中的有机分子、有毒的气体分子。具有安全可靠、操作简单、运行费用低、治理效率高、技术X等特点。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的X四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。
低温等离子体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能易使污染物分子高效分解且处理能耗低等特点，是目前国内外大气污染治理中XX的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业X域VOC类有机废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。
