賦予工作表面一些特殊的功能特性（如超高光潔度、超硬性、超耐磨性、耐高溫同時還具有韌性）。

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CVD管式氣氛爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結等實驗。

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