橢偏技術對表界面非常敏感，百年來一直被用于各種薄膜的光學分析測量。它的基本原理是，當一束偏振光經過樣品表界面反射之后偏振狀態會發生變化。

特點： 次納米的高靈敏度 3秒的快速測量 簡單方便的儀器操作

項目MK350 12nm 光譜分析儀;光譜波長范圍360 ~ 750 nm;分辨率12 nm;傳感器CMOS 線性傳感器;探頭窗口6.6 ; 0.1 mm;測量時間8 ~ 1000 ms;