橢偏技術(shù)對表界面非常敏感，百年來一直被用于各種薄膜的光學(xué)分析測量。它的基本原理是，當(dāng)一束偏振光經(jīng)過樣品表界面反射之后偏振狀態(tài)會發(fā)生變化。

特點(diǎn)： 次納米的高靈敏度 3秒的快速測量 簡單方便的儀器操作

項目MK350 12nm 光譜分析儀;光譜波長范圍360 ~ 750 nm;分辨率12 nm;傳感器CMOS 線性傳感器;探頭窗口6.6 ; 0.1 mm;測量時間8 ~ 1000 ms;